廣發證券：5月氣液系統招標量居多 清洗設備國產化中標比例領先

廣發證券發佈研報稱，在本土晶圓產能持續擴張、半導體制造技術迭代升級和國產替代加速突破的趨勢下，國內半導體設備市場持續擴容。國產半導體設備廠商依託公司自身的產品競爭力、持續拓展的可服務市場空間和品類擴張能力，有望持續受益於設備市場規模的擴張和國產替代進程的深入，成長速度和空間均十分顯著。建議關注在半導體核心工藝環節強勢卡位和今年有新品類拓展的公司。

5月合計39項招標，以華虹、積塔、中芯國際招標為主，招標設備主要包括氣液系統、測試機、量測設備等品類。根據採招網的數據，2024年5月，統計樣本中的晶圓產線合計產生39項招標。以華虹半導體、積塔半導體、中芯國際等產線招標為主。招標設備主要包括氣液系統、測試機、量測等品類。2024年1-5月，統計樣本中的晶圓產線合計招標243項，其中，華虹半導體、積塔半導體、燕東科技的招標量位居前三。整體而言，設備招標以量測、測試機、刻蝕為主。

5月合計15項中標，以測試機、爐管、探針台設備居多，國產設備整體中標比例約7%，清洗設備的國產中標比例顯著。中標方面，根據採招網的數據，2024年5月，統計樣本中的晶圓產線上合計中標15台設備，以測試機、爐管、探針台設備居多;國產設備整體中標比例約7%，其中，清洗設備的國產中標比例顯著。2024年1-5月，統計樣本中的晶圓產線合計中標679台設備，以氣液系統、擴散、探針台設備居多;國產設備整體中標比例約30%，其中，去膠、氣液系統、檢測設備的國產中標比例較高。

1-5月統計樣本中的國內設備廠商共中標39台設備，以屹唐半導體、上海微電子、北方華創中標量領先，在對應工藝環節的中標比例為13%。根據採招網的數據，2024年5月，芯源微中標1台清洗設備，在對應工藝環節的中標比例為100%。2024年1-5月，統計樣本中的國內半導體設備廠商合計中標39台設備，屹唐半導體、上海微電子、北方華創中標量領先。2024年1-5月，統計樣本中的國內半導體設備廠商合計中標量在對應工藝環節的中標比例為13%。其中，屹唐半導體的去膠設備、上海微電子的檢測設備、北方華創的爐管設備在對應工藝環節的中標比例領先，分別為85%/48%/25%。

投資建議：在本土晶圓產能持續擴張、半導體制造技術迭代升級和國產替代加速突破的趨勢下，國內半導體設備市場持續擴容。國產半導體設備廠商依託公司自身的產品競爭力、持續拓展的可服務市場空間和品類擴張能力，有望持續受益於設備市場規模的擴張和國產替代進程的深入，成長速度和空間均十分顯著。建議關注在半導體核心工藝環節強勢卡位和今年有新品類拓展的公司：北方華創、中微公司*、華海清科、盛美上海*、拓荊科技、中科飛測、萬業企業、芯源微、華峰測控*、長川科技*、微導納米、至純科技*等標的。(帶*標的為與廣發機械聯合覆蓋)

風險提示：市場需求不及預期，研發不及預期，市場開拓不及預期。